半導体は、演算能力、データストレージ、通信、そしてデジタル化の進歩を支える基盤です。 同時に、その製造に対する要求も高まっています。構造はより微細かつ複雑になり、イノベーションサイクルは短縮され、生産量は増加しています。品質、歩留まり、およびコスト効率を確保するためには、ごくわずかな動きでさえ最高精度で実行され、繊細なプロセスが確実に制御されなければなりません。

HOERBIGERは、この目的のために幅広い技術を提供しています。PI社の高ダイナミックな位置決めシステムは、ナノメートルおよびサブナノメートルレベルまで部品を移動・安定化させます。Deublin社のロータリーユニオンは流体を移送し、スリップリングは電力、信号、データを伝送します。これらが一体となって、ウェハー製造装置の信頼性の高い稼働を支えています。 HOERBIGERの超高速ピエゾ比例弁は、繊細なプロセス工程を正確かつエネルギー効率良く制御することを可能にします。

量子光学の分野においても、高精度こそが実験室から産業生産への移行への道を開きます。シリコンフォトニクスおよび集積フォトニック回路向けの技術は、革新的な量子アプリケーションの開発とスケーラブルな生産を支えています。